반도체 공정의 배관파열 원인추정물질(TEMAZ)의 물리적 위험성평가 | 2015.09.22 | ||
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본 위험성평가는 배관파열사고 원인추정물질로 추정되는 TEMAZ와 반응부산물인 산화지르코늄(ZrO2)에 대한 공기 및 불화성분위기(질소퍼지)에서의 열안정성, 열분해 특성, 온도변화에 따른 압력특성 등의 물리적 위험성을 시차주사열량계(DSC), 열중량분석기(TGA), 가속속도열량계(ARC) 등을 이용하여 조사하고, 생산된 물리적 위험성 자료를 활용하여 배관파열 사고의 원인을 규명하고 동종재해 예방을 위한 안전대책 수립 시 활용하고자 실시하였다.
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